ISO Class1洁净室微环境改造指南

ISO Class1洁净室是最高级别的洁净环境，适用于最精密的微电子制造、纳米技术研发和某些生物医药应用。以下是改造现有空间达到ISO1级标准的要点:

关键改造要素

一、空气过滤系统升级

安装ULPA过滤器(效率>99.9995% @ 0.12um)采用层流(单向流)设计，风速控制在0.3-0.5m/s

增加换气次数(通常>500次/小时)

二、结构改造

使用无脱落、易清洁的墙面材料(如不锈钢板、电解钢板)消除所有死角，采用弧形墙角

安装气锁室和更衣室缓冲区

三、HVAC系统升级

独立温湿度控制系统(通常22+1°C，45±5%RH)

精密压差控制(相邻区域≥5Pa)

振动隔离设计

四、材料与设备选择

使用抗静电材料

专用洁净室兼容设备

自动化物料传输系统减少人员干预

五、实施步骤

1.现状评估与差距分析

2.详细工程设计

3.施工期间临时洁净措施

4.分阶段验证(空态、静态、动态)

5.人员培训与操作规程制定

六、持续维护要求

1.连续粒子监测系统

2.严格的清洁规程

3.定期过滤器完整性测试

4.人员行为规范执行

洁斐然为洁净室改造IS01级/微环境提供专业团队及方案，为光刻机、晶圆制造、半导体行业的特定高精尖产业提供必要的生产环境。