电子厂洁净室的标准涉及多个方面,包括洁净度等级、温湿度、压差、气流组织等。洁斐然给您梳理电子厂洁净室等级及核心控制参数。
一、电子厂的洁净度等级 (ISO 14644-1)划分、微环境数据及常见应用领域
洁净度等级 (ISO 14644-1):ISO 5级 对应传统等级:100级
≥0.5μm粒子数/m³ (上限):≤3,520
≥5μm粒子数/m³ (上限):≤293
常见应用领域:半导体芯片制造、集成电路光刻、微环境装置内
洁净度等级 (ISO 14644-1):ISO 6级 对应传统等级:1,000级
≥0.5μm粒子数/m³ (上限):≤35,200
≥5μm粒子数/m³ (上限):≤2,930
常见应用领域:半导体后道封装、硬盘磁头装配/溅射、高质量光学产品、TFT-LCD部分制程
洁净度等级 (ISO 14644-1):ISO 7级 对应传统等级:10,000级
≥0.5μm粒子数/m³ (上限):≤352,000
≥5μm粒子数/m³ (上限):≤2,930
常见应用领域:液压/气压设备装配、PCB生产、光学产品制造、液晶显示器组装
洁净度等级 (ISO 14644-1):ISO 8级 对应传统等级:100,000级
≥0.5μm粒子数/m³ (上限):≤3,520,000
≥5μm粒子数/m³ (上限):≤20,000–29,300
常见应用领域:大型电子系统装配、LED封装、SMT表面贴装、部分元器件制造

二、洁净室核心控制参数
1.温湿度要求:
电子厂洁净室通常要求温度控制在 24±2℃,相对湿度控制在 55±5%。湿度控制对于防静电至关重要。
2.压差控制:
洁净室与室外的静压差不应小于10Pa,不同洁净度区域之间的静压差不应小于5Pa,以防止外部污染物侵入。
3.气流组织与换气次数:
ISO 5级(百级) 通常采用垂直单向流,风速要求大于0.35 m/s,换气次数需在200次/小时以上。
较低级别(如万级、十万级) 多采用非单向流,换气次数参考:万级(ISO 7)≥25次/h,十万级(ISO 8)≥15次/h。
4.新风量:
应取补偿室内排风和保持正压所需风量,以及保证每人每小时新风量不小于40立方米中的较大值。
5.照度要求:
主要工作区照度不宜低于300勒克斯(lx);辅助工作室、走廊、气闸室等照度宜为200~300 lx。
6.噪声控制:
空态下,万级洁净室的噪声级不应超过65dB(A)。
洁斐然希望以上信息能帮助您了解电子厂洁净室等级及核心控制参数。如果你对特定级别的具体要求或者某个细节方面想有更深入的了解,洁斐然欢迎您详询。



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