洁净工程标准规范是确保洁净室环境达到特定洁净度、温湿度及污染物控制要求的系统性技术准则，其核心框架涵盖设计、施工、验收及检测全流程。以下从关键维度展开说明：

一、洁净度等级标准

‌国际分级体系‌：依据ISO 14644-1标准，洁净度划分为ISO 1级至ISO 9级，其中电子工业通常要求ISO 3级（0.1μm粒子≤1000个/m³）至ISO 5级‌。

‌行业特殊要求‌：如半导体光刻区需维持ISO 3级，而百级洁净室（对应ISO 5级）要求0.1μm粒子≤3520个/m³，且≥5μm尘粒数为零‌。

二、设计规范要点

‌气流组织‌：

垂直单向流（FFU满布+高架回风）适用于ISO 1-4级，换气次数达500-600次/小时‌。

压差控制：洁净区与非洁净区压差≥5Pa，核心工艺区需维持10-15Pa正压梯度‌

‌材料选择‌：

围护结构采用电解钢板+聚氨酯夹芯板，表面电阻10^6-10^9Ω，防火等级A级‌

地面使用环氧自流平+导电铜箔网格，体积电阻10^4-10^6Ω·cm‌

三、施工与验收标准

‌分阶段验收‌：

分项验收：检查围护结构密封性、过滤器安装等，主控项目需100%合格‌

性能验收：检测悬浮粒子、温湿度（如22℃±0.5℃）、压差及微生物含量‌

‌关键指标‌：

高效过滤器检漏：扫描检漏法确保无泄漏‌

风速均匀度：工作截面风速波动≤±15%‌

四、行业应用差异

‌电子工业‌：侧重抗静电、防电磁干扰，如晶圆厂需纳米光催化涂层分解VOC‌

‌生物医药‌：强调微生物控制，如沉降菌检测需符合GB 50591-2010‌

五、智能化趋势

现代洁净工程集成CFD模拟优化气流、AI实时监控系统，实现动态环境调节‌

洁斐然提醒您：具体实施需结合《洁净厂房设计规范》（GB 50073）及ISO 14644系列标准，确保全生命周期合规性。